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十萬級GMP潔淨車間的技術標準

作者:超級管理員 瀏覽量:895 來源:本站 時間:2022-04-24 09:12:11

信息摘要:

潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  潔淨室狀態分為以下三種:

  空態:已經建造完成並可以投入使用的潔淨室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。

  靜態:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔淨室(設施),但是設施內沒有操作人員。

  動態:處於正常使用的潔淨室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。

  十萬級GMP潔淨車間最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間91香蕉视频黄稱之為潔淨室。按照國際慣例,無塵香蕉视频在线看級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵,而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於91香蕉视频黄常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對於光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。

  每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控製在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控製在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。

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